기기분류	광학/전자영상장비 ▷현미경 ▷주사전자현미경
	기기명	E-beam NanoLithography System 전계방사형 주사전자현미경 Field Emission Scanning Electron Micorsopy
	모델명	MIRA 3 LMH In-Beam Detector
	제조회사	우성항운
	구입년도	2012.02
	사용료(내부사용자)	Lithography 60,000원/시간 Sem 40,000원/시간 (coater 사용시 5,000원 추가)
	사용료(외부사용자)	Lithography 120,000원/시간 Sem 80,000원/시간 (coater 사용시 10,000원 추가)

 

시설 장비 설명	- 전계방사 주사전자현미경(FE-SEM)은 나노미터에 이르는 초고분해능을 가지는 최고의 성능을 가지는 주사전자현미경으로 첨단의 나노분야 연구에 가장 적합한 분석기기. 여기에 에너지 분산형 스펙트로메터(EDS)와 결합할 경우 미세구조 관찰과 동시에 조성분석이 가능함. - 고 에너지의 전자빔이 시편의 표면을 주사할 때 전자와 시편의 상호작용에 의해 시편 표면으로 방출되는 전자들(backscattered electrons secondary electrons Auger electrons 등)과 X-ray를 모아 증폭시켜서 시료의 표면형태의 관찰 및 성분분석을 하는데 이를 측정하는 기기 - FE-SEM/EDS만 있을 경우 한번에 sampl의 정보를 얻을 수 있지만 농도가 3%까지만 가능하고 FE-SEM/WDS만 있을 경우는 각 원소마다 맞는 crysta을 선택해 분석하면 시간이 오래 걸리는 반면 정확도가 높아 낮은 ppm단위까지 분석이 가능하고 또한 중첩되는 peak까지 구분이 가능. - FE-SEM/EDS/WDS가 함께 있을 경우 EDS로 샘플에 대한 전체적인 정보를 얻고 WDS로 좀 더 정밀하게 sample 측정이 가능하고 micro sampl의 특정부위(원하는 부위)를 관찰하며 정성 정량 분석이 가능. - 진공 하에서 고전압을 필라멘트에 인가하면 열 전자빔이 방출되어지고, 이 열 전자빔이 전도성을 가진 시료표면에 입사되면 전자빔의 대부분은 열 발생으로 잃고, 나머지 전자는 시료의 구성 원자를 여기 또는 전리시키고, 일부는 산란되어 시료에서 밖으로 나오게 됨. 이때 여러 가지 정보를 가진 신호를 방출하게 됨. 이들 신호 중 2차 전자 및 후방산란전자를 포집하여 광증폭기를 거쳐 모니터에 이미지를 나타냄. EDX가 장착되어 특성X선의 에너지 값을 분류하여 시료의 화학조성에 대한 정성 및 정량분석을 가능 하게 한다. EBSD가 장착되어 회절 현상으로 표면의 결정분포를 파악할 수 있음.
구성 및 성능	1. Electron Gun : Schottly emitter 2. Accelerating Voltage : 50V ～30kV 3. Resolution : SEI ; 1.0nm at 30kV BEI : 2.0nm at 15kV 4. Magnification : ×2 ～ ×1000K 5. EDS(Energy Dispersive X-Ray Spectrometer)부착 6. EBSD(Electron Backscatter Diffraction System)부착
사용/활용 예	- 나노 바이오 환경 기계소재분야 미세구조관찰. 연구 및 교육실험. - 고휘도의 콘형 Schottky-type FE gun을 장착할 경우 최대 X600000에 이르는 고배율과 최대 1nm에 이르는 고 분해능을 얻을 수 있음. FE-SEM은 전기적 기계적 쉴드가 쉽게 이루어져 전자기파나 진동에 안정한 조작이 이루어지며 고진공 시스템과 결합되면 고 분해능의 장비로 이용 가능. - 고체 표면 형상 및 성분 분석 - 고분자 첨가제 등의 고체 표면 형상 및 구성성분 분석 등 - 유·무기 나노 복합체 및 기능성 나노 입자의 morphology 분석 - 석유화학 촉매 성분 및 morphology 분석 * 금속재료분야 - 금속 및 세라믹의 표면관찰 및 성분분석, 결정분포 촬영 - 반도체 기판위에 증착시킨 박막 두께 관찰 - 나노 수준 미세구조의 표면 관찰(CNT 및 SNT와 같은 분말) * 화학분야 - 고분자의 형태와 크기, 표면형상 관찰(필름, 섬유 등) * 생물 및 의학분야
오퍼레이터	김상수 Tel. [대표번호] 044-860-1309