기기분류	기계가공/시험장비 ▷반도체장비 ▷리소그래픽장비
	기기명	Mask Aligner&Exposure System 자외선 조사 미세패턴 형성기
	모델명	MDA-400S
	제조회사	마이다스
	구입년도	2014.02
	사용료(내부사용자)	20,000원/시간
	사용료(외부사용자)	40,000원/시간

 

시설 장비 설명	- 본 장비는 반도체/Display등의 공정 중에서 Photo Lithography 공정을 수행하는 시스템으로서 wafer 위의 다양한 물질에 Circuit pattern을 형성시키는 것을 목적으로 함 - 미세회로를 구현하기 위해 균일도가 높은 자외선 광원을 사용 - 공정이 다층으로 이루어지므로 정밀한 Align과 Leveling 등 각종 첨단 기술의 시스템 - 다층 구현 시 샘플 패턴과 마스크 패턴을 정확기 정렬시키는 정확도가 높음 - 마스크와 샘플을 접촉 시키지 않고 공정을 진행시 그 갭을 측정하는 센서가 있고, 그 갭의 치수를 정확히 디스플레이 함 - Wedge Error Compentsation 기능으로 정화간 마스크의 오차를 보상 - 노광 타이머가 0.1초 단위로 설정 가능하며 정확한 에너지를 설정 가능 - 포토마스크 정렬(photomask alignment) 및 자외선 노광을 이용하여 포토마스크에 형성된 소자의 미세패턴을 최대 직경 6인치 면적의 웨이퍼 표면에 도포된 포토레지스트(PR) 층으로 정밀하게 전사하photolithography 공정장비 - UV를 이용하여 다양한 감광제에 마스크로 미리 정의된 마이크로 미터 수준의 미세패턴을 전사함 - 마이크로 미터 수준의 미세 패턴을 다양한 기판 위에 형성
구성 및 성능	* 구성 : Mask aligner 에 구성되는 주요 부품들은 정렬 및 노광에 맞는 종류들로 구성한다. A. Light source module    -Lamp type : Mercury Short arc lamp (350W)    -Wavelength : 350nm to 450nm    -Max. beam size : 6.25 in. x 6.25in.    -365nm Intensity : > max 25 mW/cm2    -Beam uniformity : <±3% (4in.) B. Microscope    - Dual CCD zoom microscope    - Manual moving stage : Dual X, Y, Z axis    - Objective spacing : 60 ~ 100mm    - Move range : Y Axis ± 20 mm    - 19” LCD Monitor    - Magnification : 90x ~500x    - Working distance : 86 mm / 32 mm      Micro Scope 2x Attachment 180x~1000x C. Stage and controller module    - Exposure timer : 0.1 sec to 6000sec    - Stage movement : X,Y,Z and Theta      X, Y : 10 mm,      Theta : ±4°      Z Motion travel : 10 mm    - Contact mode : Vacuum, Hard, Soft Contact & Proximity(Gap controllable)      Vacuum & Hard contact (Force controllable)    - Alignment accuracy : <±1.0 micron    - Vacuum / Pneumatic Controls :      Substrate, Mask, Chuck lock & Contact D. Resolution    - Vacuum Contact : 1um < Thin PR(Thickness1um) @ Full size Si Wafer>    - Hard (Pressure) Contact : 2um    - Soft contact : 3um    - 20um Proximity : 5um
사용/활용 예	실리콘 기판 위에 패턴된 금속 전극 형성 실리콘 기판 위에 패턴의 식각 그래핀의 미세패턴 식각 고분자 필름의 패턴 전자빔묘화 공정을 위한 marker system 의 패턴 다층 패턴의 정렬
오퍼레이터	서동민 Tel. [대표번호] 044-860-1309