기기분류	물리적측정장비 ▷길이/위치측정장비 ▷위치측정장비
	기기명	Alpha Step IQ (두께박막 측정기)
	모델명	AS IQ
	제조회사	KLA-Tencor
	구입년도	2014.02
	사용료(내부사용자)	2,000원/10분
	사용료(외부사용자)	4,000원/20분

시설 장비 설명	- 마이크로패턴의 모양 및 두께 측정, 박막 코팅 후 단차 측정을 위해 필요한 연구 장비 - 각종 박막의 단차 높이(두께)/ 깊이 등을 0.1 Angstrom의 분해능을 가지고 측정하며 Camera Lens 의 배율이 조절가능( 70 x 210배)하여 마이크로 패턴의 측정 위치를 찾는데 매우 용이함 - AS IQ 제품의 6”용의 넓은 sample stage 그리고 이동거리가 150 x 80mm로 상대적으로 넓어서 다양한 Size 의 sample 측정이 쉽고 빠르고 정확하게 가능 - Alpha Step IQ 제품은 양방향의 측정이 가능하여 Pattern 의 형체에 따른 Scanning을 방향 구별 없이 측정을 가능하게 해 줍니다. 또한 Stylus Force의 조정이 0.5mg~100mg로 넓게 조정 가능하여 강한 Force 도 가능합니다.
구성 및 성능	일반적 특징 : -접촉식(Stylus) 측정 방식으로 시료 위에 도포시킨 각종 박막의 표면을 scanning하여 박막의 두께를 0.1 Angstrom의 분해능으로 측정하고 표면의 거칠기 및 상태를 확인 -silicon wafer 나 glass 등 시료 위에 Design상 요구된 pattern 박막의 두께가 정확히 형성되었는지 또는 박막의 식각 공정 후 정확한 깊이 또는 높이의 공정이 이루어 졌는지를 확인할 수 있는 장비 -화학물질로 형성된 여러 종류의 박막 두께와 넓이 박막의 균일성을 0.1 Angstrom의 분해능으로 정확하게 측정 (1). 측정거리 : 10 mm (2). 측정속도 : 2 um/sec to 200 um/ sec (3). 측정방법 : 좌.우 양방향 탐침 움직임 방식 (4). 초당 데이터 획득 개수 : 50, 100, 200, 500 , 1000 Hz (5). 최대 측정 단차 : 500um (6). 측정 단차 분해능 : +/- 20 um / 0.012 A° 500 um / 0.3 A° (7). 탐침의 내리 누르는 힘 : 1-100 mg 조절 가능 (8). 형상 배율 : 3000 x 3000um / 1000 x 1000um (9). 배율 조정 : 디지털조정 (10). 표면거칠기 측정 (11). 0.1um 반지름 탐침 선택가능 (12) 자동기울기조정기능 ( Auto Leveling ) (13). 자동단차측정기능 ( Automatic Step Detection ) (14). 수동 측정자 위지조정 기능 (15). 개인 측정 Program 운용( Recipe Creation) Repeatability ( 반복 측정 시 재연성 ) : Step Height Repeatability, 1s : 3. Sample Handling( 시료 취급 ) : (1)151 mm x 80 mm ( X ,Y, 스테이지 움직임 ) (2)Theta 스테이지 : 360 °( 시료 스테이지 회전 ) (3)21 mm, maximum sample thickness ( 21mm 시료 두께 제한 ) (4)1 Kg , maximum sample weight ( 1kg, 시료 무게 제한 ) (5)X-Y Sample Stage 조정자 : 외부에서 조정 4. Leveling( 좌우측 편차 조정 ) : 자동 data leveling / Software-assisted stage leveling X-Y 스테이지 Hardware Level Adjustment 5.Data Analysis / Output (1)Data Screen : display scan, roughness, data summary table listing up to 27 parameters ( total 48 ) ( 표면 거칠기, 박막두께 등 모니터에 총 27가지의 값을 구함 ) (2)Automatic Cursor Positioning : ( 커서 자동 위치 기능 ) (3)Manual Cursor Positioning : ( 수동커서 위치 조정 기능 ) (4)Screen Saver function : ( 화면저장 기능 ) (5)Multi Scan Average : 반복측정 평균값 측정 (6)최대 3개의 단차 동시 측정 (7)자동 측정값 보정 기능 (8)탐침의 접촉힘 조정: 1~100mg (9)Cross Hair 조정 기능 ( 탐침과 Cross-Hair 와 일치) (10)Unit 선택 기능 : Angstron, Nanometer, Micron.. (11)Database Manager : Save & Retrieve data ( 저장된 데이터의 분석 기능 ) (12)ASCII Output : Scan data is exportable to commercial spreadsheet programs(저장된 데이터의 송신 기능) (13)Window XP / 3.2 GHz Pentium 4 Microprocessor / CDRW ( 컴퓨터 사양)
사용/활용 예	- 박막의 표면을 scanning하여 박막의 두께를 0.1 Angstrom의 분해능으로 측정하고 표면의 거칠기 및 상태를 확인 - silicon wafer 나 glass 등 시료 위에 Design상 요구된 pattern 박막의 두께가 정확히 형성되었는지 또는 박막의 식각 공정 후 정확한 깊이 또는 높이의 공정이 이루어 졌는지를 확인할 수 있는 장비
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