공동기기실 전체 기기 목록(20250709 업데이트)
- 작성일 2025.07.09
- 작성자 과학기술대학 공동기기실
- 조회수 59
| 연번 | 기기명 | 요율 (VAT 포함) | 설치장소 | 사용용도 | 모델명(제조사) | 비고 |
| 1 | 무선 근전도 시스템 (무선 근전도 측정시스템) | 30,000원/일 | 가속기ICT융합관 201호 (공동기기 행정실) |
근전도측정, 진단 | Telemyo DTS 12 CH (Noraxon) |
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| 2 | Confocal Micro Raman Mapping System | 20,000원/시간 | 산학협력관 116호 (계측실) |
분광분석장비 | ACRON J0907-11 (유니나노텍) |
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| 3 | Alpha Step IQ | 2,000원/10분 | 두께박막 측정 | Alpha Step IQ (KLA Tencor ) |
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| 4 | AFM | 20,000원/시간 | 원자현미경 | XE7 complete AFM (파크시스템스) |
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| 5 | Nano ZS System (ZetasizerNanoZS) | 15,000원/시간 | 입자전하측정기, 세포분석기 | ZEN360 (Malvern) |
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| 6 | SEM | 20,000원/시간 Coaster사용 시 5,000원 추가 |
Ion Supporter Coaster와 함께 사용 | SNE4500M (대덕이미지) |
현재 사용 불가 | |
| 7 | 전자빔 나노패턴 표화장치 E-Beam NanoLithography System(Lithography) |
60,000원/시간 | 산학협력관 117호 (공정실) |
전계방사형 주사전사현미경 | MIRA FE-SEM (테스칸) |
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| 8 | 전자빔 나노패턴 표화장치 E-Beam NanoLithography System(SEM) |
40,000원/시간 Coaster 사용 시 5,000원 추가 |
전계방사형 주사전사현미경, 코터와 함께 사용 |
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| 9 | 플라즈마 표면처리장치 | 10,000원/시간 | 플라즈마 표면처리 | covance-3MPR (펨토사이언스) |
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| 10 | Mask Aligner&Exposure System | 20,000원/시간 | 자외선 조사 미세패턴 형성 | MDA-400S (마이다스시스템) |
수리 중, 8월부터 사용 가능 | |
| 11 | LTQ Fleet Hyperbolic Ion Trap MS/MSn System | MS 25,000원 MS/MS 50,000원 LC/MS 75,000원 LC/MS/MS 150,000원 (샘플 당) |
산학협력관 120호 (박막실) |
이온트랩 질량분석 | LTQ XL(써모피셔사이언티픽) |
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| 12 | GC-MSD system | 기본요금 30,000원 +10,000원/시간 (12시간 초과 시) 기본요금 30,000원 +60,000/일 |
산학협력관 121호 (바이오실) |
기체크로마토그래피 질량분석 | Agilent 5975C (Agilent Technologies) |
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| 13 | FACS(Fluorescence Activated Cell Sorter)(FLOW CYTOMETER) | 30,000원/시간 | 초고속 유세포 분석 분리 | MoFlo XDP (Beckman Coulter) |
현재 사용 불가 | |
| 14 | Agilent GPC System | 10,000원/시간 | 겔투과크로마토그래피 분석 | 1260HPCL GPC SYS (Agilent Technologies) |
오퍼레이터 부재 | |
| 15 | 전기로 | 4,000원/건 | 고온전기로 | MF-32GH (JELO TECH) |
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| 16 | 동결건조기 | 10,000원/24시간 | 동결건조로 열에 의한 변질을 최소화, 실험에 적합한 상태로 만듬 | FDU-1200 (EYELA) |
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| 17 | ICP-PECVD | 150,000원/wf | 가속기ICT융합관 101호 (클린룸) |
절연막 (SiO2, SiNx, SiNOx) 박막 증착 | 파트 조립식 | * 개별장비의 일회성 사용은 지양하고 소자단위의 개발과 평가를 진행하는 Project 기반으로 진행함 |
| 18 | HNB-PECVD | 150,000원/wf | 반도체 박막 증착/수소이온 주입 | 파트 조립식 | ||
| 19 | PECVD | 150,000원/wf | 무기박막 (a-Si, n+ Si, SiNx, SiO2, SiNOx) 증착 | 파트 조립식 (THE ARP) |
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| 20 | PEALD | 200,000원/wf | 무기박막 (AlOx, SiOx) 증착 | iOV dX1 (ISAC 리서치) |
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| 21 | 4-Gun Metal Sputter (1) | 130,000원/wf | 금속 박막 증착 | JVMS-P44H8LC (JVAC) |
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| 22 | 4-Gun Oxide Sputter (2) | 150,000원/wf | 산화물 박막 증착 | Q8SN33 (SNTECH) |
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| 23 | 4-Gun Sputter (3) | 150,000원/wf | 기능성 박막 증착 | JVMS-P44H8LC (JVAC) |
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| 24 | Sputter ULVAC | 150,000원/wf | 기능성 박막증착 | SME-200U (ULVAC) |
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| 25 | MFSS Sputter (1) with Glove Box | 150,000원/wf | 저손상 ITO 박막 증착 | 파트 조립식 | ||
| 26 | MFSS Sputter (2) | 150,000원/wf | 산화물 반도체 박막 증착 | 파트 조립식 | ||
| 27 | Thermal Evaporator (1) | 70,000원/회 | 기능성 유기/금속 박막 증착 | 파트 조립식 | ||
| 28 | Thermal Evaporator (2) | 70,000원/회 | 기능성 박막 증착 | 파트 조립식 | ||
| 29 | ECR-RIE dry etcher | 130,000원/wf | Cu 포함 금속박막 건식 식각 | 파트 조립식 | ||
| 30 | ICP-RIE etcher | 110,000원/wf | 금속 및 산화물 건식 식각 | KVET-i2000L (코리아바큠테크) |
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| 31 | CCP-RIE dry etcher | 110,000원/wf | 무기박막 (Si, SiO2, SiNx, SiNOx) 건식 식각 | 파트 조립식 (THE ARP) |
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| 32 | Ion Milling | 110,000원/wf | 박막 건식 식각 | 파트 조립식 | ||
| 33 | OLED 증착기 | 200,000원/wf | OLED 소자 제작 | KK-021AS (KIYON) |
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| 34 | Glove Box (글로브 박스) | 100,000원/wf | 유기소재 공정 | 파트 조립식 | ||
| 35 | UV Aligner 노광기 | 100,000/기본+40,000원/wf | Photolitho Pattern 형성, 옐로우룸 | CA-6M-350(㈜우신) | ||
| 36 | Spin coater (다수 보유) | 100,000/기본+15,000원/wf | PR 도포, 옐로우룸 | ACE-200 | ||
| 37 | Dispenser | 100,000/기본+15,000원/wf | 용액 도포, 옐로우룸 | 파트 조립식 | ||
| 38 | RTA | 70,000원/wf | 소자 Annealing, 옐로우룸 | 파트 조립식 | ||
| 39 | Vacuum Oven | 70,000원/wf | 소자 Annealing, 옐로우룸 | 파트 조립식 | ||
| 40 | Plate Oven | 70,000원/wf | 소자 Annealing, 옐로우룸 | 파트 조립식 | ||
| 41 | Furnace | 280,000/회 | 소자 Annealing | 파트 조립식 | ||
| 42 | Vacuum annealing furnance | 280,000/회 | 시료 열처리 | 파트 조립식 | ||
| 43 | 진공 합착기 | 100,000원/기본+15,000원/wf | 스트레쳐블 기판 합착 | 파트 조립식 | ||
| 44 | UV-VIS spectrometer | 100,000원/hr | 흡광도측정 | UV-2600 (Shimadzu) |
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| 45 | Absolute Photoluminescence QuantumYield Spectrometer | 샘플당 50,000원 (교외 샘플당 200,000원) |
과학기술1관 328호 | 절대 발광 양자 효율 측정 | C11347 (HAMAMATSU) |
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| 46 | Gas Chromatograph | 시료당 30,000원 (교외 시료당 200,000원) |
혼합물 성분 분리 및 식별 장치 | 7890A (Agilent technologies) |
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| 47 | Glove box | 시간당 10,000원 (교외 시간당 200,000원) |
진공상태 소자 제작 장비 | 서브원 |
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| 48 | Balance | 시간당 10,000원 (교외 건당 20,000원) |
시약 무게 측정, 다른 기기 사용시 무료 | HT224R (SHINKO DENSHI) |
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| 49 | XRD | 건당 80,000원 (교외 건당 300,000원) |
물질의 결정 및 구조 정보 측정 장비 | smartlab (Rigaku) |
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| 50 | SEM | 시간당 50,000원 자율사용 35,000원 (교외 시료당 160,000원) |
소자 박막 표면 분석 장비 | EM-30AXN (COXEM) |
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| 51 | Furnace | 건당 30,000원 (교외 시간당 60,000원) |
고온 박막 증착 장비 | Furnace (DAIHAN scientific) |
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| 52 | Fume Hood | 시간당 10,000원 (교외 시간당 20,000원) |
측정 시약 및 시료제작용, 다른 기기 사용시 무료 | 한국실험기기 (주문제작) |
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| 53 | UV spectrometer | 시간당 30,000원 (교외 시간당 100,000원) |
물질의 흡광도 측정 | PDA-uv vis (scinco) |
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| 54 | Xe Lamp | 시간당 60,000원 (교외 시간당 100,000원) |
소자 광학 분석 장비 | 66921 (Newport) |
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| 55 | SEM | 시간당 92,400원 (교외 121,000원) |
산학협력관 324호 | 주사전자현미경 | CX-200k (COXEM) |
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| 56 | 입도분석기 | 시료 당 55,000원 (교외 시간당 66,000원) |
입도 분석 | LS13 320 (Beckman Coulter) |
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| * 공동기기 사용 관련 문의 : 공동기기 행정실(박정혜 cydn2010@korea.ac.kr ☎ 044-860-1460) |
| * 클린룸(가속기ICT융합관 101호) 공정장비의 사용은 개별장비의 일회성 사용은 지양하고 소자단위의 개발과 평가를 진행하는 Project 기반으로 진행함 |
| * 교외사용자는 교내 사용료의 200%를 부과함(VAT 별도) |
과학기술대학 공동기기실 기기 정보.xlsx